Analyse de multicouche TiAl/TiAlN par spectroscopie de perte d'énergie des électrons
Marie-Hélène Tuilier  1, @  , Yoann Pinot  1, @  , Marie-José Pac  1, @  , Christophe Rousselot  2, @  , Corinne Ulhaq-Bouillet, Ovidiu Ersen  3, @  
1 : Laboratoire de Physique et Mécanique Textiles  (LPMT)
Université de Haute Alsace - Mulhouse : EA4365
61 rue Albert Camus, 68093 Mulhouse cedex -  France
2 : Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies  (FEMTO-ST)  -  Site web
CNRS : UMR6174, Université de Franche-Comté, Université de Technologie de Belfort-Montbeliard, Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
32 avenue de l'Observatoire 25044 BESANCON CEDEX -  France
3 : Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg  (IPCMS)  -  Site web
université de Strasbourg, CNRS : UMR7504
23 rue du Loess - BP 43 - 67034 Strasbourg Cedex 2 - France -  France
Type : : oral
Thématiques : µ3. SPECTROSCOPIES-MICROSCOPIES - Vers la résolution nanométrique et temporelle
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